Комплекс оборудования для просвечивающей электронной микроскопии
Приборный парк ЦКП «ВТАН» НГУ
-
Производитель: JEOL Ltd., Япония, 2008 г.Растровый электронный микроскоп JEOL «JCM-5700 Carry Scope»Микроскоп обеспечивает работу в режимах высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии (ВРЭМ), сканирующей просвечивающей микроскопии (СПМ), темного и светлого поля, включая HAADF-режим, получение дифракционных картин, включая дифракцию в сходящихся пучках, проведение спектрального анализа и картирования с помощью EDS и EELS
Основные измеряемые характеристики (диапазон измерения характеристик, показатели точности): морфология, структура, химический состав.
Фотографии образцов
Основные измеряемые характеристики
- Разрешающая способностьпо точкам – 0,19 нм;
по решетке – 0,1 нм;
в режиме картирования – 0,2 нм;
в режиме HAADF – 0,14 нм. - Разрешение5 нм
- Ускоряющее напряжениеот 0,5 до 20 кВ
- Диапазон увеличенийот х8 до х300 000
- Максимальный размер образцадиаметр до 150 мм высота до 43 мм
- Визуализации поверхности образцас увеличениями
от x8 до x300000 крат
- Получение изображения поверхности образца (контактным, либо резонансным полуконтактным методом, либо нерезонансным полуконтактным методом) — 1800 руб/час
- Изучение свойств образца продвинутыми методиками с применением Application modules — 2500 руб/образец
- Подготовка образца для проведения измерений или технологической операции — 300 руб/образец
- Консультационные услуги по научно-техническим, технологическим и экономическим проблемам, обработка/анализ данных методики АСМ — 900 руб/час
В электронно-оптической колонне РЭМ могут возникать различного вида аберрации, которые влияют на разрешение РЭМ, а также на качество получаемых изображений:
• Сферическая аберрация возникает вследствие того, что электроны, движущиеся по траекториям, удаленным от оптической оси, фокусируются сильнее, чем электроны, движущиеся вблизи оси.
• Хроматическая аберрация возникает вследствие изменения магнитного поля линзы, что приводит к смещению точки, в которой фокусируются электроны.
• Астигматизм. Магнитные линзы не всегда имеют совершенную симметрию. Ошибки при механической обработке, асимметрия обмоток и неровности, обусловленные наличием любых загрязнений, приводят к ухудшению качества получаемых изображений.
• Сферическая аберрация возникает вследствие того, что электроны, движущиеся по траекториям, удаленным от оптической оси, фокусируются сильнее, чем электроны, движущиеся вблизи оси.
• Хроматическая аберрация возникает вследствие изменения магнитного поля линзы, что приводит к смещению точки, в которой фокусируются электроны.
• Астигматизм. Магнитные линзы не всегда имеют совершенную симметрию. Ошибки при механической обработке, асимметрия обмоток и неровности, обусловленные наличием любых загрязнений, приводят к ухудшению качества получаемых изображений.
• По данным РЭМ AlN очевидно, что морфология получаемых поверхностей образцов зависит от мощности магнетронного разряда при напылении пленок. Следовательно, метод можно применять для характеризации качества поверхностей.
• Данные о морфологии поверхности, полученные на коррелируют с данными АСМ.
• Наблюдаются дендритовидные структуры на поверхности пленок AlN
• Данные о морфологии поверхности, полученные на коррелируют с данными АСМ.
• Наблюдаются дендритовидные структуры на поверхности пленок AlN
- Изучение различных конфигураций Ad-Hex (адсорбент-теплообменник) в условиях рабочих циклов AHT необходимо для определения оптимальной геометрии теплообменников, что позволяет создать наиболее компактный AHT, представляющий интерес для потребителя. Одной из наиболее перспективных рабочих пар для организации адсорбционного цикла кондиционирования воздуха является композит LiCl/силикагель-метанол (Рис.6) «ХХIII Международная конференция Химия и химическая технология в XXI веке»
- В LiNbO3 , уменьшение шероховатости боковой стенки за счет сглаживания кластерными ионами аргона позволило изготовить волноводы со сверхмалыми потерями
- Используя мягкие (низкоэнергетические), интенсивные (высокоэнергетические) режимы распыления и их комбинацию, была исследована модификация топографии поверхности LBO при бомбардировке кластерными ионами аргона.
Оператор микроскопа
- Никулин Василий ВикторовичСтарший преподавательИнженер
- Гейдт Павел ВикторовичD.Sc.(Tech.), кандидат физико-математических наукЗаведующий лабораторией
