Разрешающая способность:

· по точкам – 0,19 нм; по решетке – 0,1 нм; в режиме картирования – 0,2 нм;

· в режиме HAADF – 0,14 нм.

Назначение: визуализации микро- и нанорельефа поверхности образца, проведение элементного анализа.

Основные измеряемые характеристики: (диапазон измерения характеристик, показатели точности):

· визуализации микро- и нанорельефа поверхности образца с увеличениями в диапазоне от x8 до x300000 крат;

· проведение элементного анализа с помощью безазотного рентгеновского энергодисперсионного спектрометра (диапазон анализируемых элементов от Be до U).

Разрешение — 5 нм.

Ускоряющее напряжение — от 0,5 до 20 кВ.

Диапазон увеличений — от х8 до х300 000.

Максимальный размер образца — диаметр до 150 мм высота до 43 мм.

В электронно-оптической колонне РЭМ могут возникать различного вида аберрации, которые влияют на разрешение РЭМ, а также на качество получаемых изображений:

• Сферическая аберрация возникает вследствие того, что электроны, движущиеся по траекториям, удаленным от оптической оси, фокусируются сильнее, чем электроны, движущиеся вблизи оси.

• Хроматическая аберрация возникает вследствие изменения магнитного поля линзы, что приводит к смещению точки, в которой фокусируются электроны.

• Астигматизм. Магнитные линзы не всегда имеют совершенную симметрию. Ошибки при механической обработке, асимметрия обмоток и неровности, обусловленные наличием любых загрязнений, приводят к ухудшению качества получаемых изображений.

• По данным РЭМ  AlN очевидно, что морфология получаемых поверхностей образцов зависит от мощности магнетронного разряда при напылении пленок. Следовательно, метод можно применять для характеризации качества поверхностей.

• Данные о морфологии поверхности, полученные на коррелируют с данными АСМ.

• Наблюдаются дендритовидные структуры на поверхности пленок AlN

• Изучение различных конфигураций Ad-Hex (адсорбент-теплообменник) в условиях рабочих циклов AHT необходимо для определения оптимальной геометрии теплообменников, что позволяет создать наиболее компактный AHT, представляющий интерес для потребителя. Одной из наиболее перспективных рабочих пар для организации адсорбционного цикла кондиционирования воздуха является композит LiCl/силикагель-метанол (Рис.6) «ХХIII Международная конференция Химия и химическая технология в XXI веке»

• В LiNbO3 , уменьшение шероховатости боковой стенки за счет сглаживания кластерными ионами аргона позволило изготовить волноводы со сверхмалыми потерями

• Используя мягкие (низкоэнергетические), интенсивные (высокоэнергетические) режимы распыления и их комбинацию, была исследована модификация топографии поверхности LBO при бомбардировке кластерными ионами аргона.